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氦气为什么可做检漏气体？
首先，因为氦气的最外层的电子是2，而且氦只有一层电子，第一层电子是2，这意味着达到了稳定结构，所以氦气的化学性质相对来说比较稳定。不易发生反应、爆炸等。在一些比较值钱的设备：例如飞机、宇宙飞船等都喜欢用氦气作为检漏用气。但氦气在自然界的储量少，价钱也比较昂贵，所以为了节约成本，一些企业也就选择氢和氮的混合气体作为检漏用气，或者直接用氮气作为检漏用气。
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氦气在在半导体中的检漏作用
为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞，所以在元器件封装之后，就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小，容易穿过小洞而进入到管壳内部，所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为10−11～10−12cm3/sec的小洞），灵敏度可与放射性检漏方法匹敌，但要比放射性检漏方法简便。 氦气检漏试验的方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
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气体纯化分类及生产工序
特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。
气体纯化设备适用范围
氦主要用于医疗、军工、制冷、半导体、管道检漏、高精度焊接、金属制造、深海潜水、光电子产品生产、气球载、科研、军事等领域。下面结合氦资源主要应用对氦资源用户进行分析。
氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法
氦罩法是用一个检验罩把被检件包起来, 检漏时先排除罩内空气, 然后充入100kPa的氦气。当检漏仪输出指示有变化时, 表明处于氦罩下的被检件有漏孔。检验罩子可用塑料薄膜制成, 对于大批量的小零件, 也可制作专用的刚性好的检验罩, 使所充示漏气体的压力高于100kPa , 以提高检漏灵敏度。
2022
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