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氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法
氦罩法是用一个检验罩把被检件包起来, 检漏时先排除罩内空气, 然后充入100kPa的氦气。当检漏仪输出指示有变化时, 表明处于氦罩下的被检件有漏孔。检验罩子可用塑料薄膜制成, 对于大批量的小零件, 也可制作专用的刚性好的检验罩, 使所充示漏气体的压力高于100kPa , 以提高检漏灵敏度。
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